六氟化硫氣體檢測儀基于紅外吸收光譜原理的紅外分光光度法來對SF6氣體進行分析檢測，利用物質對紅外電磁輻射的選擇吸收特性，來對物質進行定性定量分析，因為光輻射在氣體中傳播時氣體分子會對光輻射檢測吸收，散射而衰減，因此利用氣體在某一特定區(qū)域波段的吸收特性可以實現對該氣體檢測。該儀器具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應速度快、操作簡便、移動范圍大、可迅速、準確地定性和定量檢測SF6斷路器和GIS的泄漏點和年泄漏率。
六氟化硫氣體檢測儀進行檢測的方式主要有以下幾種：
壓降檢測方式：在密封的工件內中充入一定壓力的氣體，經過一段時間保壓(2-5秒)，檢測壓力是否下降，觀察計算壓力變化來判斷產品是否有泄漏(全過程5-25秒)。此方法氣密性檢測儀配套工裝夾具通用性*，可以適用于半密封產品和全密封產品。還可以在半密封的工件內部抽氣成負壓來檢測產品時候有泄漏。壓降方式效率高、通用性強、檢出率高、無損檢測。其中多通道氣密性檢測儀可以一次同時檢測多個產品，這是目前主流的氣密性檢測儀檢測方式。
差壓氣密性檢測方式：也叫比較法，需要一個標準無泄漏的產品。原理在密閉的待測品內通入一定壓力的氣體，同時在一個標準品內通入同樣壓力的氣體，靜止一段時間，觀察標準罐體內的壓力與工件內的壓力差從而判定產品是否泄漏。此氣密性檢測儀檢測方式檢測精度高，但是通用性不強，需要兩個工裝，檢測成本與壓降型相對高一倍，因此市場上主流的氣密性檢測儀檢測方式是壓降型，并集成了正負壓檢測能力的氣密性測試儀得到了廣泛應用及發(fā)展。
氣泡檢測方式：在密封的產品內部注入一定壓力的氣體，然后將產品侵入水或者其他液體中，觀察是否有氣泡漏出，或者在產品表面涂抹泡沫液或者肥皂水看是否有氣泡產生。
